技术参数：
流量： （10～10000）nm3/h
纯度： 95%～99.9998%
压力： 原料气压低0.05mpa(可增压)
露点 ： ≤-80℃
含氢量：±50ppm(h2)
系统特点：
● 装置结构紧凑,装置占地面积小，操作简单方便。
● 装置系统控制开停车方便快捷。
● 装置运行和维护费用同类产品低。
● 装置运行独立性强，稳定性好，可靠性高。
● 装置能耗少，运行成本低.
上海肇基电气科技有限公司
刘建壮
13761658131
上海市浦东新区南汇工业园区园顺路8号